
유효존 | Ø600 Χ H1000mm |
쳄버크기 | Ø900 Χ H1500mm |
코팅타입 | Filtered Arc source type |
제어모드 | PLC+ 터치스크린 적용으로 전공정의 자동화 |
히터 | max 200℃ |
주요특징 |
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BT-1600L-T8은 10¹¹-¹³cm-³의 고밀도 플라즈마 소스인 FVAS 기술을 적용하여 에칭, 활성화, 기능성 카본코팅(H-free DLC)용 대면적 코팅 시스템 입니다.
FVAS 개략도

FVAS 외관

아크빔 방출
