유효존 Ø600 Χ H1000mm
쳄버크기 Ø900 Χ H1500mm
코팅타입 Filtered Arc source type
제어모드 PLC+ 터치스크린 적용으로 전공정의 자동화
히터 max 200℃
주요특징
  • 턴테이블은 자전축 무베어링 시스템 적용으로 내구성 강화
  • 견고하고 콤팩트한 디자인이면서 유지보수가 편리함
  • 전기제어 장치의 캐비넷을 밀폐하고 내부 냉각장치를 자동화하여 외부먼지유입을 차단, 파워를 비롯한 전기장치의 내구성 및 안정성 확보

BT-1600L-T8은 10¹¹-¹³cm-³의 고밀도 플라즈마 소스인 FVAS 기술을 적용하여 에칭, 활성화, 기능성 카본코팅(H-free DLC)용 대면적 코팅 시스템 입니다.

FVAS 개략도

FVAS 외관

아크빔 방출

  • ta-C : tetrahedral Amorphous Carbon으로써, 박막 내에 수소를 포함하지 않고 tetrahedrally orbital bond를 이루는 sp³의 분율이 60% 이상인 비정질탄소계 경질 코팅입니다.
  • FVAS(Filtered Vacuum Arc Source) : 자장여과 아크 발생장치로 일반 아크 방전시에 아크스팟에서 발생되는 수 미크론 크기의 거대입자에 의한 코팅면의 표면조도 불량문제를 해결하기 위하여 그림과 같이 아크빔에서 방출되는 거대 입자는 직진하여 제거되고 이온화된 카본입자만을 인출하여 코팅에 사용하는 장치입니다.